연구장비 Equipment
이용가능
담당자
정명선, 최미리
장비문의
0338154605
sjp19@kbsi.re.kr
전계방출 투과전자현미경
Field Emission Transmission Electron Microscope
| 기관명 | 한국기초과학지원연구원 춘천센터 |
|---|---|
| 모델명 | JEM-2100F |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 전기/전자장비 |
| 연관검색어 | 전계방출투과전자현미경,FieldEmissionTransmissionElectronMicro |
| 제조사(국가) | JEOL(일본) |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 전계방출 투과전자현미경(FE--TEM)은 전자빔을 조사하여 시료의 표면, 단면 등을 고배율로 확대하여 형상분석 및 구조분석 장비이며 EDX를 이용하여 시료의 정성, 정량분석을 하는 장비이다. 나노사이즈의 입자크기, 박막두께, 구조분석 및 성분분석을 고배율로 확대하여 분석하고 바이오물질들의 형태 및 미세구조를 관찰하는 imaging 장비이다. |
| 원리 및 특성 | polepiece type: HR point resolution: 0.23nm lattice resolution: 0.1nm STEM image resolution: 0.2nm Acc. Voltage: 160kV, 200kV Electron source: ZrO/W(100) Schottky Brightness: ≧4X108A/Cm2/sr Magnification: -TEM mode: X50 to X1.5M -STEM mode: X20k to 150M Spot size: -TEM mode: 2 to 5nm -NBD mode: 0.2 to 2.4nm Specimen tilt angle: ±25 (α/β) Specimen shift: 2mm(X/Y), ±0.1mm (Z) Convergence angle: 1.5 to 20mrad Acceptance angle: ±10° |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |