연구장비 Equipment
이용가능
담당자
정명선, 최미리
장비문의
0338154605
sjp19@kbsi.re.kr
구조분석용 고분해능 주사전자현미경
Analytical High Resolution Scanning Electron Micro
| 기관명 | 한국기초과학지원연구원 춘천센터 |
|---|---|
| 모델명 | SUPRA-55VP |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 전기/전자장비 |
| 연관검색어 | 구조분석용고분해능주사전자현미경,AnalyticalHighResolutionScanningE |
| 제조사(국가) | 칼자이스(독일) |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 전계방출주사전자현미경(FE-SEM)은 시료의 표면, 단면 등을 고배율로 확대하여 morphology분석 및 구조분석 장비이다. 나노사이즈의 입자크기, 박막두께 등 표면분석 및 EDS를 이용한 성분분석을 고배율로 확대하여 분석하는 imaging 장비이다. |
| 원리 및 특성 | Electron Source - Thermal Schottky field emitter Resolution - Electron Beam 0.8nm @15kV Beam Stability 0.2%/h GEMINI Column Electrostatic and Magnetic Lens Detectors - High efficiency In-lens Secondary Electron detector - Everhart-Thornley Secondary Electron Detector - Variable Pressure Secondary Electron Detector |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |