연구장비 Equipment
이용가능
담당자
임준기
장비문의
0332507129
altnrdl@kangwon.ac.kr
시편코팅기
Specimen Coater
| 기관명 | 강원대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | Leica EM ACE600 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 화합물전처리/분석장비 |
| 연관검색어 | SEM전처리 |
| 제조사(국가) | Leica(Germany) |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 전자현미경 관찰 및 분석을 위한 시편 표면 위에 금속 및 카본코팅을 하는 장비로서 전자현미경 분석 전 Ir, Pt, C 등을 코팅하여 시편 위에 전도성 막 (또는 층)을 수 nm~mm 이하로 코팅함으로서 전자 빔에 의한 시편의 열적 손상을 방지 하고 Charging 방지 및 SE/BSE Signal 증폭의 목적으로 사용함. |
| 원리 및 특성 | "1) Sputter 전류조절 범위 : 15-150 mA, 연속조절가능 2) Glow discharge 전류조절 범위 : 5-15 mA, 연속조절가능 3) 최대진공 : ≤2ⅹ10-6 mbar 4) Working distance : min. 30mm, max. 100mm 5) Motorized stage - 3축 (회전, 높낮이, 기울기)을 터치스크린 조작으로 모터에 의한 자동 조절 - 직경 104mm 테이블, 25 standard SEM Specimen mounts with Ø3.2mm pin 6) Foil target 규격 : 지름 54mm, 두께 최대 1mm 7) Carbon rod : 3 mm 지름 8) 코팅시간 : 1 s ~ 1800 s 9) 코팅두께 : 1 nm ~ 1000 nm 10) 코팅두께 측정장치 내장 : (QSG-quartz crystal measurement) QSG 해상도 : one decimal (0.1 nm accuracy), includes 10 crystals" |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |