연구장비 Equipment
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이용가능
담당자
박선화
장비문의
0332483454
hnyoon@hallym.ac.kr
이온코터
Ion Sputter Coater
| 기관명 | 한림대학교 의료바이오융합연구원 |
|---|---|
| 모델명 | G20 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | |
| 연관검색어 | 이온코팅 |
| 제조사(국가) | GSEM(대한민국) |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | • 전도성이 없는 시료(Sample) 및 전도성이 약한 시료의 표면에 이온 스퍼터링하여 금속박막을 형성시키는 장비임. • 부도성 시료 표면에 하전입자가 누적되어 영상이 왜곡되는 현상을 감소시키기고, SEM 측정을 용이하게 하기 위하여 표면을 백금(Pt)으로 코팅시켜 줌. |
| 원리 및 특성 | 1. Degree of Vacuum : 2.0 x 10-1 torr 2. Ion Current : 1 - 10 mA 3. Target Material : Pt(백금) 4. Chamber Size : ø140mm(D) x 100mm(H) 5. Sample Stage : ø50mm(D) x 30mm(H) 6. Target Size : ø50mm(D) 7. Sputter Time : 1 - 600 sec 8. Vacuum Pump : 100L/min, Rotary Pump |
| 사용방법 | 직접사용 |
| 관련자료 | - |