연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
0334529881
yjjin@cpri.re.kr
박막측정기
AS IQ Surface Profiler
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 물리적측정장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 미국 |
| 식별번호 | NFEC-2010-09-083501 0804-F-0114 |
|---|---|
| 장비설명 | *특징-접촉식(Stylus) 측정 방식으로 시료 위에 도포시킨 각종 박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다.-silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다.-화학물질로 형성된 여러 종류의 박막 두께와 넓이 박막의 균일성을 0.1 Angstrom의 분해능으로 정확하게 측정한다. |
| 원리 및 특성 | *구성및성능-stylus 5um-60Degree Radius-Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm-Manual precision X-Y stage 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |