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고주파스퍼터링시스템
RF Sputter system
| 기관명 | 강릉원주대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | DGS-4000 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 기타 |
| 연관검색어 | sputter |
| 제조사(국가) | 다다코리아 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 스퍼터링시스템은 sputtering 방식으로 박막을 만드는 장치로 진공 상태에서 아르곤 가스 등을 이용하여 플라즈마를 타켓에 충돌시키고 원자를 분출시켜 시료에 금속 막을 입히는 진공증착법의 일종이다. 이때 고주파 전압을 사용한다. 고주파스퍼터링시스템을 이용하여 다양한 분야의 재료 및 박막 연구에 활용 할 수 있다. |
| 원리 및 특성 | "1) Main Chamber Module - Chamber Φ600x550H, STS304 2) Substrate Module - 4″Sample holder/Inconel 3) UHV 4″Magnetron Sputter Gun & Shutter" |
| 사용방법 | 직접사용 |
| 관련자료 | - |