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담당자
이수형
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X선 광전자분광기
XPS
| 기관명 | 강원대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | K Alpha+ |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 화합물전처리/분석장비 |
| 연관검색어 | XPS |
| 제조사(국가) | Thermo VG(UK) |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 일정한 에너지의 광자를 원자나 분자에 쬐면 들뜬 이온과 광전자가 발생한다. 이때 방출된 광전자의 운동에너지는 분석기와 검출기에서 측정되는데 조사된 에너지에서 검출된 광전자의 운동에너지와 일함수 값을 뺀 값이 코어 준위의 결합에너지가 된다. 이 결합에너지는 원자의 고유한 값을 갖기 때문에 표면에서 방출되는 광전자의 스펙트럼을 관측함으로써 표면의 조성, 화학적 결합상태 및 구성원소를 정량 분석할 수 있다. |
| 원리 및 특성 | "1. Mean diameter : 250mm or bigger 2. Min. energy step size : 3 meV or lower 3. Ultimate Energy resolution (of Ag 3d5/2 peak) : < 0.5 eV FWHM 4. Ultimate spatial resolution : < 30 micro m, by knife edge method 5. XPS on Insulators : C 1s energy resolution (eV) : < 0.85 eV 6. Max. Sensitivity at 1eV FWHM on Ag3d5, at 400 micro m : 2,000,000 cps, or higher 7. Anode material : Al 8. Ultimate vacuum : 5×10-9 mbar or better 9. Energy range : 100 eV to 4 keV or equivalent 10. Ion energy 3 keV, Beam current 3.5 micro A, Spot size < 500 micro m or equivalent 11. Ion energy 200 eV, Beam current 1 micro A, Spot size < 1,000 micro m or equivalent" |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |