연구장비 Equipment
이용가능
담당자
연정미
장비문의
0334529713
yjjin@cpri.re.kr
전계방사형 주사전자현미경
FE-SEM
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | S-4800 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 전기/전자장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 일본 |
| 식별번호 | NFEC-2011-01-138293 0912-A-0168 |
|---|---|
| 장비설명 | 전자총에 전압과 전류를 접속하여 형성된 전자빔을 이용하여 금속 무기물질 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image를 제공한다.TEM에 비해 간단한 전 처리를 통해 재료 식물 의학 반도체 등 거의 대부분 시료를 분석 할 수 있다. |
| 원리 및 특성 | *FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)-분해능 : 1.0nm(at 15kV) 1.4nm(at 1kV)-배율 : x20~x800000-전자총 : Cold cathode field emission-가속전압 : 0.5 to 30kV-Specimen stage : X Y 0~50mm Z 1.5~30mm T -5˚~+70 ˚ R 360˚*EDS-분해능 : 129eV at 20mm(MnKa) -검출범위 : B(5) to U(92) |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |