연구장비 Equipment
이용가능
담당자
김병연
장비문의
0334529717
yjjin@cpri.re.kr
R2R type 대면적 Web Coater
R2R-type Web Coater
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | |
| 용도 | 생산 |
| 분류 | 기계가공/시험장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
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| 장비설명 | *사용분야-고품질 기능성 박막코팅(ITO, SiO2, TiO2, Cu등) 필름생산-1200 mm 대형 R2R Web Coater를 이용한 고품질 ITO 필름 고속 증착공정-Roll-to-Roll 스퍼터링 시스템에서 고효율 캐소드에 의한 고성능 ITO 박막제작 |
| 원리 및 특성 | *주요스펙-필름종류 : PET, PES, PEI, PI etc.-필름두께 : 25~188µm(PET기준)-필름 폭 : 1270mm이상-유효코팅 폭 : 1230mm이상-필름 롤 직경 : max.Φ520mm-코어 외경(풀림부, 감김부) : 152mm, 6“-냉각수 온도 : 5℃~RT-최대 진공도 : ≤1×10Torr(공정 챔버 내)≤6×10Torr(권취 챔버 내)-펌핑 시간 : ≤3×10Torr(60분 이내) |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |