연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
0334529881
yjjin@cpri.re.kr
회전건조기
Spin Rinser Dryer
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | SRD 480S |
| 용도 | 생산 |
| 분류 | 기계가공/시험장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 반도체용 Wafer나 조명소자용 ITO 기판을 Wet station 설비에서 Chemical 처리 후 내부 Chuck을 이용하여 회전시키는 동안 DI Water로 Rinse하며 Heating된 질소로 분사하여 건조시키는 설비이다. |
| 원리 및 특성 | 1. 구성: 본체 Frame, N2 Blower, Di Water Shower, Gas Heating Line, 변압기 (220V→120V)2. DI Water Resistivity Meter 설치를 통한 비저항치 확인 가능3. N2 Blow Sensor를 통한 Interlock 기능4. Hot N2 Temp. : Over Hi 100 ℃ 5. Jig 규격: 200 mm * 200 mm Glass 전용, 25 EA loading capacity 6. Max RPM : 2700 RPM 7. Power : 120 V 15 A / 1Φ, 60 Hz |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |