연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
0334529881
yjjin@cpri.re.kr
습식처리기
Wet Station
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | |
| 용도 | 생산 |
| 분류 | 기계가공/시험장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 초음파 세척장치, 열선장치 및 DI Water 비저항 측정기를 이용한 산업용 반도체, 조명소자용 ITO 기판의 습식처리 장치. 사용되는 용매의 성질에 따라 산성 유기용매는 PVC나 Quartz재질, 세척용 유기용제의 경우에는 SUS 재질로 제작된 Bath를 사용하여 공정을 진행한다. |
| 원리 및 특성 | 1. 구성 : Organic Wet Station & Acid Wet Station2. 장비규격: 각각 1600(W) X 1000(D) X 2100(H)의 크기로 2개 구성3. 2개의 Quartz Bath, 3개의 PVC Bath, 5개의 SUS Bath로 구성 4. Temp Control: Setting Temp. ±1℃, Auto tuning system 5. System Control: PLC Control & Touch panel 6. Safety Interlock: Emergency switch, Over-heat interlock, Leak sensor, Exhaust Interlock, Nitrogen level sensor 7. DI Water, N2 Gun, DI Water Resistivity meter installation 8. Bath 용량: 약 12L 9. 최대수용 기판크기: 200mm X 200mm |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |