연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
0334529881
yjjin@cpri.re.kr
게터플래싱 시스템
Getter flashing system
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | |
| 용도 | 시험 |
| 분류 | 화합물전처리/분석장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
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| 장비설명 | N2 Gas로 산소와 수분이 차단된 Glove Box 내부에서 용액의 Spin Coating 및 열처리와 더불어, UV Curing을 통한 OLED 소자의 봉지공정을 수행할 수 있는 장비. |
| 원리 및 특성 | 1. Main Frame : 1,500(L) X 890(H) X 760(D) 1)N2 Gas 분위기 (Oxygen : 8ppm 미만, Moisture : 30ppm 미만) 2. Vacuum Pump3. 8" Butyl Rubber Glove 2EA 4. UV 경화기 1)General UV Lamp & Metal Halide UV Lamp 2)AC 1Φ / 220V / 60Hz 5. Spin Coater 1)Bowl Size 200mm 2)Speed Range Max. 10,000RPM 3)Time 1 to 999sec 4)Vacuum Max. 650mm/Hg |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |