전계방사형 주사전자현미경SU8600
이용가능
담당자
장비문의 0332507129
altnrdl@kangwon.ac.kr

전계방사형 주사전자현미경SU8600

Field Emission Scanning Electron Microscope(SU8600

기관명 강원대학교 공동실험실습관
모델명 Hitachi
용도 분석
분류 분석장비
연관검색어 SEM
제조사(국가) Hitachi(일본)

이용금액

사용료 유형 시간당
이용료 0원
설치형태 고정
설치장소

장비설명

식별번호 NFEC-2025-01-302450
장비설명 ◦ Cold type 전계방사형 전자총을 사용하며, 시료 표면에서 방출되는 2차전자, 후방산란전자 등을 이용하여 시료의 표면 형태를 다양한 배율과 contrast로 관찰 가능
◦ 최소 20배에서 최대 2,000,000배까지 측정 가능하며 다양한 크기의 시료 관찰이 가능
◦ UD,LD,TD,IMD,PD-BSED,STEM 등의 Detecter를 사용하여 다양한 데이터 수집 가능
◦ Duel EDS 구성으로 여러 방향에서 데이터 손실 없이 정성,정량 분석 가능
원리 및 특성 SU8600
- Resolution: 0.6nm at 15kV
                 0.7nm at 1kV
- Magnification: x20 to 2,000,000
- Accelerating Voltage: 0.5 to 30kV
- Electron Gun: Cold Cathode field emission electron source
- Emission Current: Up to 20uA
- Detector: Upper Detector(UD)
               Lower Detector(LD)
               Top Detector(TD)
               In-column Middle Detector(IMD)
               Semiconductor Type BSED(PD-BSED)
               STEM Detector
- Objective Lens: 4 opening selectable type(100-50-50-30um)
- Lens system: 3-stage electromagnetic lens reduction system
- Specimen Movement
  X: 110mm(motorized)
  Y: 110mm(motorized)
  Z: 1.5 to 40mm(motorized)
  Tilt: -5 to 70°(motorized)
  Rotation: 360°(continuous,motorized)
EDS(Bruker FlatQUAD)
- Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps
- Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type)
- Detectable electrons: 5 B to 98 Cf
- Active Area: 60mm2(4x15mm2)
EDS(Bruker XFlash7100)
- Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps
- Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type)
- Detectable electrons: 4 Be to 98 Cf
- Active Area: 100mm2
사용방법 기관의뢰
관련자료 -