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전계방사형 주사전자현미경SU8600
Field Emission Scanning Electron Microscope(SU8600
| 기관명 | 강원대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | Hitachi |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 분석장비 |
| 연관검색어 | SEM |
| 제조사(국가) | Hitachi(일본) |
사용료 유형
시간당
이용료
0원
설치형태
고정
설치장소
| 식별번호 | NFEC-2025-01-302450 |
|---|---|
| 장비설명 | ◦ Cold type 전계방사형 전자총을 사용하며, 시료 표면에서 방출되는 2차전자, 후방산란전자 등을 이용하여 시료의 표면 형태를 다양한 배율과 contrast로 관찰 가능 ◦ 최소 20배에서 최대 2,000,000배까지 측정 가능하며 다양한 크기의 시료 관찰이 가능 ◦ UD,LD,TD,IMD,PD-BSED,STEM 등의 Detecter를 사용하여 다양한 데이터 수집 가능 ◦ Duel EDS 구성으로 여러 방향에서 데이터 손실 없이 정성,정량 분석 가능 |
| 원리 및 특성 | SU8600 - Resolution: 0.6nm at 15kV 0.7nm at 1kV - Magnification: x20 to 2,000,000 - Accelerating Voltage: 0.5 to 30kV - Electron Gun: Cold Cathode field emission electron source - Emission Current: Up to 20uA - Detector: Upper Detector(UD) Lower Detector(LD) Top Detector(TD) In-column Middle Detector(IMD) Semiconductor Type BSED(PD-BSED) STEM Detector - Objective Lens: 4 opening selectable type(100-50-50-30um) - Lens system: 3-stage electromagnetic lens reduction system - Specimen Movement X: 110mm(motorized) Y: 110mm(motorized) Z: 1.5 to 40mm(motorized) Tilt: -5 to 70°(motorized) Rotation: 360°(continuous,motorized) EDS(Bruker FlatQUAD) - Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps - Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type) - Detectable electrons: 5 B to 98 Cf - Active Area: 60mm2(4x15mm2) EDS(Bruker XFlash7100) - Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps - Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type) - Detectable electrons: 4 Be to 98 Cf - Active Area: 100mm2 |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |