연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
0334529881
yjjin@cpri.re.kr
소자 Test용 진공 System
OLED Deposition system
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 기계가공/시험장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 유기물과 금속물질을 챔버내의 진공분위기에서 원하는 Rate로 두께를 조정하여 기판위에 박막을 형성시킴으로 유기발광소자를 제작할 수 있는 증착장비. 물질의 종류와 두께에 따라 소자의 발광 파장, 세기, 구동전압의 특성이 조금씩 달라지기 때문에 조건변화를 통해 최적화된 OLED 소자를 제작하기 위한 증착장비로 사용. |
| 원리 및 특성 | 1. # of Organic Cell : 9 (PBN Crucible 4cc) 2. # of Metal Boat : 3 (Carbon BN Boat) 3. Layer Ununiformity : Organic Cell 3% 이내, Metal Boat 5% 이내 4. Pin Alignment : ±200um 이내 5. Base Vacuum Pressure : 5.00E-07 (With in 2hrs) 6. Pump : Rotary Pump & Cryo Pump 7. Max. Temperature : 500℃ (Organic Cell) 8. 메인 Controller, Crucible & Boat, Pump, Servo Motor, 2 Chaber Frame으로 구성 |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |