전계방사형 주사전자현미경
이용가능
담당자 김덕
장비문의 0335813422
duckim96@gwtp.or.kr

전계방사형 주사전자현미경

Field Emission Scanning Elelctron Microscope

기관명 (재)강원테크노파크 원료산업지원센터
모델명 GeminiSEm 300
용도 분석
분류 기타
연관검색어 FE-SEM,EDS
제조사(국가) Carl Zeiss(독일)

이용금액

사용료 유형 시간당
이용료 70,000원
설치형태 고정
설치장소 (재)강원테크노파크 원료산업지원센터 위치확인

장비설명

식별번호 NFEC-2018-10-246549 1809-A-0143
장비설명 "○ 시료의 표면분석(Topography, Morphology, Composition, Crystallography) 및 성분분석(EDS 활용)
○ 광물, 원료, 소재에 대한 시험, 분석, 평가 및 시험성적서발행
○ Schottky Field emission type Gun이 장착
○ In lens type Schottky field emission Gun을 통해 높은 Probe current를 안정적으로 시료에 인가하여 동시에 다량, 다종의 원소에 대한 정성, 정량 분석 작업
○ 200nA 이상의 Probe current 인가가 가능하여 미량의 활성물질을 함유하는 세라믹필터, 금속/탄소섬유 composite 등의 미소 영역에 대한 분석가능
○ 대 구경 Active area(50mm2) SDD Type EDS와 64 bit Processor를 통해 미지의 시료 내 원소에 대한 실시간 정성, 정량 분석이 가능하여 시료의 개재물 및 불순물 분석 결과 파악
○ 광학현미경과 전자현미경 이미지의 상호 좌표공유 및 자동으로 위치 전환 및 시료 내 같은 위치의 광학현미경 이미지와 전자현미경 이미지 오버레이 가능"
원리 및 특성 "○ Resolution: 0.8nm at 15kV, 1.4nm at 1 kV(without stage bias)
○ Acceleration Voltage: 0.02-30 kV
○ Probe Current: 3 pA up to 20 nA
○ Magnification: 12 – 2,000,000 ×
○ Electron Emitter: Thermal field emission type, stability better than 0.2 %/h
○ Detectors included in Base System: Inlens Secondary Electron detector, Everhart Thornley Secondary Electron detector, High efficiency VPSE detector (included in variable pressure option)
○ Specimen stage: 5-axes motorized eucentric specimen stage:
X = 130 mm, Y = 130 mm; Z = 50 mm, T = -3° to 70°, R = 360° (continuous)"
사용방법 기관의뢰
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