G-EQNET 강원연구장비종합정보망

이용가능

담당자 김효규

장비문의 0337475415

khk4529@kitech.re.kr

SEM 시편제작용 Sputter

Sputter machine for SEM specimen preparation

사용료 유형 시간당

이용료 5,000원

설치형태 고정

설치장소 한국생산기술연구원 원주뿌리기술지원센터 위치확인

식별번호	1904-B-0095
장비설명	"○ “스퍼터링타겟과 챔버가 장착된 본체”와 “진공배기펌프”가 진공호스로 상호간에 연결된 시스템으로 구성 ○ 본체 - 파워서플라이, 컨트롤 패널, 스퍼터링 타겟 챔버로 구성된 장치 ○ 진공펌프 - 스퍼터 챔버 내부의 대기를 배기시킬 목적으로 장착되는 로터리 타입의 펌프"
원리 및 특성	" ○ 스퍼터 타겟의 종류 : Pd, Au 또는 합금 타겟 ○ 스퍼터 타겟의 조절거리 : 약 45mm ○ 스퍼터 타겟의 형상 : 디스크 타입 ○ 스퍼터 출력 : DC 800V at 20mA 급 ○ 증착속도 : 분당 6nm at 25mA 급 ○ 초기 진공도 : 약 10-2mbar ○ 사용가능한 가스 : 아르곤 (Ar) 또는 대기 분위기 ○ 진공펌프 : 로터리 타입 (배기량 분당 25리터 이상)"
사용방법	기관의뢰
관련자료	-

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