연구장비 Equipment
이용가능
담당자
신정철
장비문의
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OLED 조명소자 공정 및 패키징 장비
OLED Deposition & TFE (Thin Film Encapsulation) Sy
| 기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 모델명 | Sunicel plus 200 |
| 용도 | 생산 |
| 분류 | 기계가공/시험장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 대한민국 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | OLED 조명소자 공정장비는 tact time 6분 이내의 In-Line Concept을 적용한 시스템으로 Linear Source를 적용함. 최대 기판의 크기는 200X200 mm2 이며, 발광유효증착면적비율은 81%임. 증착시스템은 유기물 증착 챔버 2종과 메탈 챔버 1종으로 구성되고 2E-7 Torr 이상의 고진공에서 공정이 진행되며, 기판과 마스크간의 공차는 150um 이하이고, 유무기 박막의 균일도는 3% 이내임. 플렉시블조명, 감성조명, 투명조명 등의 향후 발전전망에 따라 봉지공정을 Glass 봉지 방식과 유기물과 무기물을 다층으로 적층하는 Thin Film Encapsulation System 을 장착함. |
| 원리 및 특성 | -Substrate Size : 200mm*200mm Glass (Thickness 0.5~0.7mm)-Evaporation Effective Area : 170mm*170mm-Alignment : Mechanical Align ≤ ±150㎛-Foot Print : Ref. 13000*5000*2000mm |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |