연구장비 Equipment
수리중
담당자
김동주
장비문의
0336402501
djkim@gwnu.ac.kr
전계방사형 주사전자현미경
Scanning electron microscope
| 기관명 | 강릉원주대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | Inspect F |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 화합물전처리/분석장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | 체코 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | FE-SEM은 고진공에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어서 전자를 표면으로부터 떼어내는 전자총을 사용하여 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 고분해능, 고배율로 분석이 가능하며, 시료표면에서 발생하는 다양한 신호를 검출하여 물질의 형태, 구조, 성분 등을 분석할 수 있는 장비이다. 즉, 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차저자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치이다. |
| 원리 및 특성 | 200V ∼ 30kV or wider - Focus range : 3 ∼ 99mm - Magnification : 12x to > 2,000,000x - Detectors : SED, BSED - Chamber system : < 6e-4 Pa or better - 4-axis motorized stage - EDS & EBSD embedding system |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |