연구장비 Equipment
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이용가능
담당자
김동주
장비문의
0336402500
djkim@gwnu.ac.kr
전계방사형 주사전자현미경(Jeol JSM-IT700)
Field Emission Scanning Electron Microscope
| 기관명 | 강릉원주대학교 공동실험실습관 |
|---|---|
| 모델명 | JSM-IT700 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 광학/전자영상장비 |
| 연관검색어 | SEM |
| 제조사(국가) | 일본 |
| 식별번호 | |
|---|---|
| 장비설명 | 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)은 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소 영역에 대한 상(최대배율 60만배) 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 원소 분석 기능이 가능한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)가 장착되어 시료 표면에서 발생하는 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있다. |
| 원리 및 특성 | 1) Accelerating Voltage : 0.5kV to 30kV(53steps) 2) Resolution : 1.0nm (Acc.V 20 kV, SEI), 3.0nm (Acc.V 1 kV, SEI) 3) Signal - High Vacuum mode : Secondary Electron Image - Backscattered Electron Image - Low Vacuum mode : Backscattered Electron Image 4) Magnification : x5 to x600,000(Image Mag.), x14 to x1,649,449(Displayed Mag.) 5) Probe current : Several pA to 300nA 6) Pressure control range in specimen chamber : 10 to 150 Pa 7) EDS Related: Resolution(FWHM) : 129eV, Detectable elements : Be to U 8) Electron Gun : Schottky FE-Gun |
| 사용방법 | 직접사용 |
| 관련자료 | - |