연구장비 Equipment
이용가능
담당자
김효규
장비문의
0337475415
khk4529@kitech.re.kr
공초점 현미경
3D Confocal interferential Microscope
| 기관명 | 한국생산기술연구원 원주뿌리기술지원센터 |
|---|---|
| 모델명 | Leica DCM-8 |
| 용도 | 분석 |
| 분류 | 전기/전자장비 |
| 연관검색어 | |
| 제조사(국가) | LEICA(독일) |
| 식별번호 | NFEC-2019-08-257214 1907-A-0106 |
|---|---|
| 장비설명 | "접촉으로 인한 시편의 변형 및 파손이 없고 단시간 내 측정 가능한 광학 스캔 방식을 이용하기 때문에 열에 약한 고무 제품과 같은 고분자나 유기물, 의 측정에도 적합 플라스틱, 에멀젼 페인트, 종이, 코팅, 인쇄 잉크등에 함유된 이산화 티탄(TiO2) 분석이나 전자 장치 (패널 디스플레이, 회로 보드 및 케이스), 차량 및 건물 (시트, 가구, 창 및 벽), 섬유 (의류 및 직물) 및 왁스 또는 탄화수소 중합체와 같은 셀프 클리닝 표면/소수성 표면의 습윤 특성 분석 가능 물과 공기의 계면에서 소수성 표면의 물방울 바닥을 3D 이미징/분석 하며, 접촉방식으로는 측정하기 어렵거나 변형이 예상되는 습식 코팅막 등의 기타 재료의 나노구조 표면 측정에 활용 가능" |
| 원리 및 특성 | "1. HD Confocal & Interferometry Microscope 1) Confocal Scan Head and Stand 2) Auto-stage unit - Scanning stage - Tilting stage 3) Objective Lens (6ea) - Confocal Objective 5x - Confocal Objective 10x - Confocal Objective 20x - Confocal Objective 50x - Confocal Objective 100x - Interferometry Objective 20X (Mirau Type) 2. Control unit - Controller and Workstation with 27 inch Monitor - Joystick with Jog-dail and Control S/W 3. Confocal imaging, Analysis and metrology software 4. Active anti-vibration table (능동형 초정밀 제진대) * 성능 및 규격(Performance and Specification) 1. 수직 분해능 : 0.1 nm 또는 동등 이상 2. 공초점 측정속도 (면) : 15Hz 이상 3. 광학 해상도 : 0.15㎛ 또는 동등 이상 4. 높이 측정 재현성 : 0.0002 ㎛ 또는 동등 이상 5. 수직분석기능 : 형상, 거리, 각도 거칠기 측정이 가능 할 것 6. 수평계측기능 : 자동 폭 측정, 평면계측, 평탄도 측정 등이 가능 할 것 7. 거칠기 측정 : ISO4287에 의거한 2차원 거칠기 Ra, Rz, Rp, Rv Rt, Rc, Rmr등이 가능 할 것 ISO25187에 의거한 3차원 거칠기 Sa, Sz, Sp, Sv St, Sc, Smr등이 가능 할 것 8. 측정원리 : Confocal and Interferometry방식의 Dual Core Imaging Profilometry 방식 일 것 9. Detail Specification of Main System 1) Microscope unit : Confocal & Interferometry Microscope 2) Multi function : - HD Confocal scanning microscope - Interferometry / 3D Surface Metrology microscope - Interferometry capability : VSI & PSI & PSI (3 types) - Capabilities : HD Imaging, HD 3D Topography, Profiles, Coordinates, Thickness, Roughness, Volume, Surface Texture, etc. - Contrast modes : HD Confocal, HD Interferometry (PSI, VSI), HD Brightfield Color, Brightfield, Darkfield, Real Time HD RGB Confocal 기능이 있을 것 3) Camera : 2/3"" CCD with 1360x1024 pixels, 35fps, 이상 Sequential color to Each ppixel in real color" |
| 사용방법 | 기관의뢰 |
| 관련자료 | - |