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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
습식처리기 (Wet Station)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
생산
분류
기계가공/시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
초음파 세척장치, 열선장치 및 DI Water 비저항 측정기를 이용한 산업용 반도체, 조명소자용 ITO 기판의 습식처리 장치. 사용되는 용매의 성질에 따라 산성 유기용매는 PVC나 Quartz재질, 세척용 유기용제의 경우에는 SUS 재질로 제작된 Bath를 사용하여 공정을 진행한다.
장비구성
및
성능
1. 구성 : Organic Wet Station & Acid Wet Station2. 장비규격: 각각 1600(W) X 1000(D) X 2100(H)의 크기로 2개 구성3. 2개의 Quartz Bath, 3개의 PVC Bath, 5개의 SUS Bath로 구성 4. Temp Control: Setting Temp. ±1℃, Auto tuning system 5. System Control: PLC Control & Touch panel 6. Safety Interlock: Emergency switch, Over-heat interlock, Leak sensor, Exhaust Interlock, Nitrogen level sensor 7. DI Water, N2 Gun, DI Water Resistivity meter installation 8. Bath 용량: 약 12L 9. 최대수용 기판크기: 200mm X 200mm
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
0원
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신샘밭로 61-60 강원테크노파크지원센터
TEL: 033-248-5610

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