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장비기본정보

기관명
강원대학교 삼척공동실험실습관
장비명
고진공 스퍼터 및 카본 코팅기 ( High Vacuum Sputter & Carbon Thread Coater)
모델명
ACE600
제작사(국가)
Leica(Germany)
제작년도
2020
용도
생산
분류
화합물전처리
취득일
2020.06.25
장비설명
전자현미경 관찰 및 분석을 위한 시편 표면 위에 금속 및 카본코팅을 하는 장비로서 전자현미경 분석 전 Au, Pt, C 등을 코팅하여 시편 위에 전도성 막 (또는 층)을 수 nm~mm 이하로 코팅함으로서 전자 빔에 의한 시편의 열적 손상을 방지 하고 Charging 방지 및 SE/BSE Signal 증폭의 목적으로 사용함.
장비구성

성능
1. Coating materials : Pt, C

2. Motorized Stage : rotation, height, tilt

3. Coating time : 1 s – 1800 s or more

4. Coating thickness : 1 nm – 1000 nm
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시료당
이용료
12,000원
설치형태
고정
설치장소
삼척공동실험실습관 204호
장비상태
정상
담당자
김진호
연락처
0335706781
팩스
0335706789
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신샘밭로 61-60 강원테크노파크지원센터
TEL: 033-248-5610

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