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장비기본정보

기관명
한국생산기술연구원 원주뿌리기술지원센터
장비명
SEM 시편제작용 Sputter (Sputter machine for SEM specimen preparation)
모델명
SC7620
제작사(국가)
Quorum Technologies Ltd(영국)
제작년도
2019
용도
분석
분류
분석장비
취득일
2019.04.24
장비설명
"○ “스퍼터링타겟과 챔버가 장착된 본체”와 “진공배기펌프”가 진공호스로 상호간에 연결된 시스템으로 구성
○ 본체
- 파워서플라이, 컨트롤 패널, 스퍼터링 타겟 챔버로 구성된 장치
○ 진공펌프
- 스퍼터 챔버 내부의 대기를 배기시킬 목적으로 장착되는 로터리 타입의 펌프"
장비구성

성능
" ○ 스퍼터 타겟의 종류 : Pd, Au 또는 합금 타겟
○ 스퍼터 타겟의 조절거리 : 약 45mm
○ 스퍼터 타겟의 형상 : 디스크 타입
○ 스퍼터 출력 : DC 800V at 20mA 급
○ 증착속도 : 분당 6nm at 25mA 급
○ 초기 진공도 : 약 10-2mbar
○ 사용가능한 가스 : 아르곤 (Ar) 또는 대기 분위기
○ 진공펌프 : 로터리 타입 (배기량 분당 25리터 이상)"
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
5,000원
설치형태
설치장소
한국생산기술연구원 원주뿌리기술지원센터
장비상태
정상
담당자
김효규
연락처
0337475415
팩스
0337475404
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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