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장비기본정보

기관명
한국기초과학지원연구원 춘천센터
장비명
구조분석용 고분해능 주사전자현미경 (Analytical High Resolution Scanning Electron Micro)
모델명
SUPRA-55VP
제작사(국가)
칼자이스(독일)
제작년도
2011
용도
분석
분류
전기/전자장비
취득일
..
장비설명
전계방출주사전자현미경(FE-SEM)은 시료의 표면, 단면 등을 고배율로 확대하여 morphology분석 및 구조분석 장비이다. 나노사이즈의 입자크기, 박막두께 등 표면분석 및 EDS를 이용한 성분분석을 고배율로 확대하여 분석하는 imaging 장비이다.
장비구성

성능
Electron Source
- Thermal Schottky field emitter
Resolution
- Electron Beam 0.8nm @15kV
Beam Stability 0.2%/h
GEMINI Column Electrostatic and Magnetic Lens
Detectors
- High efficiency In-lens Secondary Electron detector
- Everhart-Thornley Secondary Electron Detector
- Variable Pressure Secondary Electron Detector
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원대학교 집현관 105호
장비상태
정상
담당자
정명선, 최미리
연락처
0338154605
팩스
0332557273
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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