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장비기본정보

기관명
한림대학교 의료바이오융합연구원
장비명
이온코터 (Ion Sputter Coater)
모델명
G20
제작사(국가)
GSEM(대한민국)
제작년도
2025
용도
분석
분류
분석장비
취득일
2025.01.23
장비설명
• 전도성이 없는 시료(Sample) 및 전도성이 약한 시료의 표면에 이온 스퍼터링하여 금속박막을 형성시키는 장비임.
• 부도성 시료 표면에 하전입자가 누적되어 영상이 왜곡되는 현상을 감소시키기고, SEM 측정을 용이하게 하기 위하여 표면을 백금(Pt)으로 코팅시켜 줌.
장비구성

성능
1. Degree of Vacuum : 2.0 x 10-1 torr
2. Ion Current : 1 - 10 mA
3. Target Material : Pt(백금)
4. Chamber Size : ø140mm(D) x 100mm(H)
5. Sample Stage : ø50mm(D) x 30mm(H)
6. Target Size : ø50mm(D)
7. Sputter Time : 1 - 600 sec
8. Vacuum Pump : 100L/min, Rotary Pump
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
직접사용
사용료유형
건당
이용료
16,000원
설치형태
고정
설치장소
의료바이오융합연구원 21B112호
장비상태
정상
담당자
박선화
연락처
0332483454
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5610
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