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장비기본정보

기관명
강릉원주대학교 공동실험실습관
장비명
고주파스퍼터링시스템 (RF Sputter system)
모델명
DGS-4000
제작사(국가)
다다코리아
제작년도
2021
용도
분석
분류
기타
취득일
2021.08.31
장비설명
스퍼터링시스템은 sputtering 방식으로 박막을 만드는 장치로 진공 상태에서 아르곤 가스 등을 이용하여 플라즈마를 타켓에 충돌시키고 원자를 분출시켜 시료에 금속 막을 입히는 진공증착법의 일종이다. 이때 고주파 전압을 사용한다. 고주파스퍼터링시스템을 이용하여 다양한 분야의 재료 및 박막 연구에 활용 할 수 있다.
장비구성

성능
"1) Main Chamber Module
- Chamber Φ600x550H, STS304
2) Substrate Module
- 4″Sample holder/Inconel
3) UHV 4″Magnetron Sputter Gun & Shutter"
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
직접사용
사용료유형
건당
이용료
240,000원
설치형태
고정
설치장소
112
장비상태
정상
담당자
행정실
연락처
0336402500
팩스
0336402503
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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