연구장비 상세보기

장비기본정보

기관명
강원대학교 공동실험실습관
장비명
X선 광전자분광기 (XPS)
모델명
K Alpha+
제작사(국가)
Thermo VG(UK)
제작년도
2014
용도
분석
분류
분석장비
취득일
2014.10.31
장비설명
일정한 에너지의 광자를 원자나 분자에 쬐면 들뜬 이온과 광전자가 발생한다.
이때 방출된 광전자의 운동에너지는 분석기와 검출기에서 측정되는데 조사된 에너지에서 검출된 광전자의 운동에너지와 일함수 값을 뺀 값이 코어 준위의 결합에너지가 된다.
이 결합에너지는 원자의 고유한 값을 갖기 때문에 표면에서 방출되는 광전자의 스펙트럼을 관측함으로써 표면의 조성, 화학적 결합상태 및 구성원소를 정량 분석할 수 있다.
장비구성

성능
"1. Mean diameter : 250mm or bigger
2. Min. energy step size : 3 meV or lower
3. Ultimate Energy resolution (of Ag 3d5/2 peak) : < 0.5 eV FWHM
4. Ultimate spatial resolution : < 30 micro m, by knife edge method
5. XPS on Insulators : C 1s energy resolution (eV) : < 0.85 eV
6. Max. Sensitivity at 1eV FWHM on Ag3d5, at 400 micro m : 2,000,000 cps, or higher
7. Anode material : Al
8. Ultimate vacuum : 5×10-9 mbar or better
9. Energy range : 100 eV to 4 keV or equivalent
10. Ion energy 3 keV, Beam current 3.5 micro A, Spot size < 500 micro m or equivalent
11. Ion energy 200 eV, Beam current 1 micro A, Spot size < 1,000 micro m or equivalent"
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
이용료
설치형태
설치장소
미래관 105호
장비상태
정상
담당자
송병윤
연락처
0332507133
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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