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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
전계방사형 주사전자현미경 (FE-SEM)
모델명
S-4800
제작사(국가)
일본
제작년도
2009
용도
분석
분류
전기/전자장비
취득일
2009.12.30
장비설명
전자총에 전압과 전류를 접속하여 형성된 전자빔을 이용하여 금속 무기물질 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image를 제공한다.TEM에 비해 간단한 전 처리를 통해 재료 식물 의학 반도체 등 거의 대부분 시료를 분석 할 수 있다.
장비구성

성능
*FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)-분해능 : 1.0nm(at 15kV) 1.4nm(at 1kV)-배율 : x20~x800000-전자총 : Cold cathode field emission-가속전압 : 0.5 to 30kV-Specimen stage : X Y 0~50mm Z 1.5~30mm T -5˚~+70 ˚ R 360˚*EDS-분해능 : 129eV at 20mm(MnKa) -검출범위 : B(5) to U(92)
NTIS NO
NFEC-2011-01-138293
E-Tube NO
0912-A-0168

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비상태
정상
담당자
연정미
연락처
0334529713
팩스
0334529776
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5610
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