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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
회전건조기 (Spin Rinser Dryer)
모델명
SRD 480S
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
생산
분류
기계가공/시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
반도체용 Wafer나 조명소자용 ITO 기판을 Wet station 설비에서 Chemical 처리 후 내부 Chuck을 이용하여 회전시키는 동안 DI Water로 Rinse하며 Heating된 질소로 분사하여 건조시키는 설비이다.
장비구성

성능
1. 구성: 본체 Frame, N2 Blower, Di Water Shower, Gas Heating Line, 변압기 (220V→120V)2. DI Water Resistivity Meter 설치를 통한 비저항치 확인 가능3. N2 Blow Sensor를 통한 Interlock 기능4. Hot N2 Temp. : Over Hi 100 ℃ 5. Jig 규격: 200 mm * 200 mm Glass 전용, 25 EA loading capacity 6. Max RPM : 2700 RPM 7. Power : 120 V 15 A / 1Φ, 60 Hz
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5610
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