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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
게터플래싱 시스템 (Getter flashing system)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
시험
분류
화합물전처리/분석장비
취득일
2012.12.11
장비설명
N2 Gas로 산소와 수분이 차단된 Glove Box 내부에서 용액의 Spin Coating 및 열처리와 더불어, UV Curing을 통한 OLED 소자의 봉지공정을 수행할 수 있는 장비.
장비구성

성능
1. Main Frame : 1,500(L) X 890(H) X 760(D) 1)N2 Gas 분위기 (Oxygen : 8ppm 미만, Moisture : 30ppm 미만)

2. Vacuum Pump3. 8" Butyl Rubber Glove 2EA 4. UV 경화기
1)General UV Lamp & Metal Halide UV Lamp 2)AC 1Φ / 220V / 60Hz 5. Spin Coater 1)Bowl Size 200mm
2)Speed Range Max. 10,000RPM
3)Time 1 to 999sec 4)Vacuum Max. 650mm/Hg
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5610
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