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장비기본정보

기관명
강원대학교 공동실험실습관
장비명
전계방사형 주사전자현미경SU8600 (Field Emission Scanning Electron Microscope(SU8600)
모델명
Hitachi
제작사(국가)
Hitachi(일본)
제작년도
2024
용도
분석
분류
분석장비
취득일
2024.12.19
장비설명
◦ Cold type 전계방사형 전자총을 사용하며, 시료 표면에서 방출되는 2차전자, 후방산란전자 등을 이용하여 시료의 표면 형태를 다양한 배율과 contrast로 관찰 가능
◦ 최소 20배에서 최대 2,000,000배까지 측정 가능하며 다양한 크기의 시료 관찰이 가능
◦ UD,LD,TD,IMD,PD-BSED,STEM 등의 Detecter를 사용하여 다양한 데이터 수집 가능
◦ Duel EDS 구성으로 여러 방향에서 데이터 손실 없이 정성,정량 분석 가능
장비구성

성능
SU8600
- Resolution: 0.6nm at 15kV
                 0.7nm at 1kV
- Magnification: x20 to 2,000,000
- Accelerating Voltage: 0.5 to 30kV
- Electron Gun: Cold Cathode field emission electron source
- Emission Current: Up to 20uA
- Detector: Upper Detector(UD)
               Lower Detector(LD)
               Top Detector(TD)
               In-column Middle Detector(IMD)
               Semiconductor Type BSED(PD-BSED)
               STEM Detector
- Objective Lens: 4 opening selectable type(100-50-50-30um)
- Lens system: 3-stage electromagnetic lens reduction system
- Specimen Movement
  X: 110mm(motorized)
  Y: 110mm(motorized)
  Z: 1.5 to 40mm(motorized)
  Tilt: -5 to 70°(motorized)
  Rotation: 360°(continuous,motorized)
EDS(Bruker FlatQUAD)
- Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps
- Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type)
- Detectable electrons: 5 B to 98 Cf
- Active Area: 60mm2(4x15mm2)
EDS(Bruker XFlash7100)
- Resolution: 129eV at Mn Ka, 100,000 cps
- Detector: Silicon Drift Detector(LN2 Free type)
- Detectable electrons: 4 Be to 98 Cf
- Active Area: 100mm2
NTIS NO
NFEC-2025-01-302450
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
장비상태
정상
담당자
연락처
0332507129
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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