연구장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
소자 Test용 진공 System (OLED Deposition system)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
분석
분류
기계가공/시험장비
취득일
2012.12.11
장비설명
유기물과 금속물질을 챔버내의 진공분위기에서 원하는 Rate로 두께를 조정하여 기판위에 박막을 형성시킴으로 유기발광소자를 제작할 수 있는 증착장비. 물질의 종류와 두께에 따라 소자의 발광 파장, 세기, 구동전압의 특성이 조금씩 달라지기 때문에 조건변화를 통해 최적화된 OLED 소자를 제작하기 위한 증착장비로 사용.
장비구성

성능
1. # of Organic Cell : 9 (PBN Crucible 4cc)
2. # of Metal Boat :
3 (Carbon BN Boat) 3. Layer Ununiformity : Organic Cell 3% 이내, Metal Boat 5% 이내
4. Pin Alignment : ±200um 이내
5. Base Vacuum Pressure : 5.00E-07 (With in 2hrs)
6. Pump : Rotary Pump & Cryo Pump
7. Max. Temperature : 500℃ (Organic Cell)
8. 메인 Controller, Crucible & Boat, Pump, Servo Motor, 2 Chaber Frame으로 구성
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5610
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