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장비기본정보

기관명
강릉원주대학교 공동실험실습관
장비명
전계방사형 주사전자현미경 (Scanning electron microscope)
모델명
Inspect F
제작사(국가)
체코
제작년도
2009
용도
분석
분류
화합물전처리/분석장비
취득일
2009.06.29
장비설명
FE-SEM은 고진공에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어서 전자를 표면으로부터 떼어내는 전자총을 사용하여 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 고분해능, 고배율로 분석이 가능하며, 시료표면에서 발생하는 다양한 신호를 검출하여 물질의 형태, 구조, 성분 등을 분석할 수 있는 장비이다. 즉, 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전자가 시편과 충돌할 때 발생하는 이차저자, 반사전자, X-선 등을 검출하여 확대상을 촬영하는 장치이다.
장비구성

성능
200V ∼ 30kV or wider
- Focus range : 3 ∼ 99mm
- Magnification : 12x to > 2,000,000x
- Detectors : SED, BSED
- Chamber system : < 6e-4 Pa or better
- 4-axis motorized stage
- EDS & EBSD embedding system
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
12,000원
설치형태
고정
설치장소
212
장비상태
수리중
담당자
김동주
연락처
0336402501
팩스
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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